ICS 25.180.10 CCSK61 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T10067.417—2023 电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分：碳化硅单晶生长装置 Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installationsPart 417:Silicon carbide crystal growthinstallations 2023-05-23发布 2023-12-01实施国家市场监督管理总局发布国家标准化管理委员会

GB-T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件第417部分：碳化硅单晶生长装置

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