(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123157084.4 (22)申请日 2021.12.15 (73)专利权人 江苏龙恒新能源 有限公司 地址 223899 江苏省 宿迁市经济技 术开发 区上海路12 99号 (72)发明人 秦静超　李凤龙　许康　 (74)专利代理 机构 无锡三谷高智知识产权代理 事务所(普通 合伙) 32569 专利代理师 陈勤 (51)Int.Cl. F26B 9/06(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/12(2006.01) F26B 25/18(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)实用新型名称 晶片烘干设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种晶片烘干设备， 涉及 太阳能晶片生产设备技术领域。 该烘干设备包括 箱体， 箱体内设有容纳腔， 容纳腔内壁上设有烘 干组件， 容纳腔内设有烘干架， 烘干架通过设于 容纳腔内的推动组件推出或拉回箱 体， 推动组件 包括设于容纳腔底面且由箱体内侧朝向箱体出 口一侧延伸的滑轨， 滑轨上滑移连接有推动板， 推动板底部设有滑动条， 滑动条滑移连接在滑轨 内， 烘干架固定在推动板上， 容纳腔底面上还设 有用于驱使推动板沿滑轨延伸方向滑移的驱动 件， 本实用新型在操作人员在上料和取下晶片 时， 可以通过推动组件将烘干架推出， 在箱体外 对晶片实现上料和下料操作， 避免操作人员在高 温状态下操作而被烫伤， 方便上料和下料操作， 提升了操作效率。 权利要求书1页 说明书3页 附图4页 CN 216694239 U 2022.06.07 CN 216694239 U 1.一种晶片烘干设备， 包括箱体(1)， 箱体(1)内设有容纳腔(11)， 容纳腔(11)内壁上设 有烘干组件， 其特征在于： 所述容纳腔(11)内设有烘干架(12)， 烘干架(12)通过设于容纳腔 (11)内的推动组件(2)推出或拉回箱体(1)， 推动组件(2)包括设于容纳腔(11)底面且由箱 体(1)内侧朝向箱体(1)出口一侧延伸的滑轨(21)， 滑轨(21)上滑移连接有推动板(22)， 推 动板(22)底部设有滑动条(23)， 滑动条(23)滑移连接在滑轨(21)内， 烘干架(12)固定在推 动板(22)上， 容纳腔(11)底面上还设有用于驱使推动板(22)沿滑轨(21)延伸方向滑移的驱 动件(3)。 2.根据权利要求1所述的晶片烘干设备， 其特征在于： 所述烘干架(12)包括若干层相互 平行设置的安置板(121)， 安置板(121)与推动板(22)结构相同， 均开设有若干个平行设置 的长方形的通风口(122)， 若干块安置板(121)与推动板(22)之间形成用于容纳晶片的烘干 槽(123)。 3.根据权利要求1所述的晶片烘干设备， 其特征在于： 所述驱动件(3)包括固定在容纳 腔(11)底面上的驱动电机(31)， 驱动电机(31)的输出轴上固定有驱动丝杠(32)， 驱动丝杠 (32)与滑轨(21)相互平行， 推动板(22)底部固定有推动块(33)， 驱动丝杠(32)穿透推动块 (33)并与之螺纹连接 。 4.根据权利 要求3所述的晶片烘干设备， 其特征在于： 所述滑轨(2 1)于容纳腔(11)底面 内设有相互平行的两根， 滑轨(21)末端固定有定位销(211)， 推动板(22)上靠近容纳腔(11) 内壁的一侧设有适配定位销(211)的定位杆(212)， 容纳腔(11)设有用于封闭驱动电机(31) 并隔热的隔热罩(31 1)， 驱动电机(31)的输出轴穿透隔热罩(31 1)。 5.根据权利要求1所述的晶片烘干设备， 其特征在于： 所述驱动件(3)包括固定在箱体 (1)侧壁上的电机减速器(34)， 电机减速器(34)位于箱体(1)外侧壁上， 其输出轴穿透箱体 (1)侧壁延伸至容纳腔(11)内， 电机减速器(34)的输出轴上固定有与之垂直设置的旋转杆 (35)， 旋转杆(3 5) 末端铰接有推动杆(3 6)， 推动杆(3 6)末端铰接在推动板(2 2)侧面位置。 6.根据权利要求1所述的晶片烘干设备， 其特征在于： 所述容纳腔(11)内侧壁、 容纳腔 (11)顶面和底面上均设有烘干管(4)， 容纳腔(1 1)内还设有排气风扇。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216694239 U 2晶片烘干设 备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及太阳能晶片生产设备技 术领域， 特别是 涉及一种晶片烘干设备。 背景技术 [0002]太阳能电池， 是一种利用太阳光直接发电的光电半导体薄片， 又称为 “太阳能芯 片”或“光电池”， 它只要被满足一定照度条件的光照度， 瞬间就可输出电压及在 有回路的情 况下产生电流。 [0003]目前的太阳能电池以光伏效应工作的晶硅太阳能电池为主流， 而以光化学效应工 作的薄膜电池实施太阳能电池则还处于萌芽阶段。 [0004]由于太阳能电池芯片在制备之后易受外界温湿度和氧气的影响， 如果不进行封 装， 尤其在空气中长期使用， 易受水汽侵 蚀和氧气氧化绝缘并腐蚀穿孔， 导致电池短路或者 内阻增加致使电池效率降低， 从而缩短了电池的使用寿命。 [0005]晶片在经过前期切割、 研磨等工序后， 表面沾附着多种有机或无机的污物， 污物的 存在阻碍了石英晶片的正常使用， 因此晶片需要 经过硫酸重铬酸钾溶液、 纯水超声波、 酒精 超声波等过程的清洗， 清洗后则需要将晶片烘干 。 [0006]目前， 公开号为CN205138128U的中国专利公开了一种硅晶片烘干设备， 其烘干腔 内设有传送链条， 所述烘干腔的出料口处安装有门板和用于控制所述门板开启和关闭的驱 动装置； 所述驱动装置包括气缸， 所述气缸的气缸 杆端部与所述门板连接 。 [0007]这种硅晶片烘干设备有效防止烘干腔内热量从出料口散失， 从而提高了硅晶片的 烘干效率及烘干效果， 但是 由于这种烘干设备 的门板设于前部位置， 烘干过程中设备内温 度较高， 因此操作人员将晶片取 出和上料时较为 不便， 降低了操作效率和自动化进程。 实用新型内容 [0008]本实用新型针对上述 技术问题， 克服现有技 术的缺点， 提供一种晶片烘干设备。 [0009]为了解决以上技 术问题， 本实用新型提供一种晶片烘干设备。 [0010]技术效果： 本设备包括烘干箱体， 烘干箱体内设有滑移设置的烘干架， 烘干架通过 设于箱体内的推动组件推出箱体， 因此操作人员在上料和取下晶片时， 可以通过推动组件 将烘干架推出， 在箱体外对晶片实现上料和下料操作， 避免操作人员 在高温状态下操作而 被烫伤， 方便上 料和下料操作， 提升 了操作效率和自动化进程。 [0011]本实用新型进一步限定的技术方案是： 一种晶片烘干设备， 包括箱体， 箱体内设有 容纳腔， 容纳腔内壁上设有烘干组件， 容纳腔内设有烘干架， 烘干架 通过设于容纳腔内的推 动组件推出或拉回箱体， 推动组件包括设于容纳腔底面且由箱体内侧朝向箱体出口一侧延 伸的滑轨， 滑轨上滑移连接有推动板， 推动板底部设有滑动条， 滑动条滑移连接在滑轨内， 烘干架固定在推动板上， 容纳腔底面上还设有用于驱使推动板沿滑轨延伸方向滑移的驱动 件。 [0012]进一步的， 烘干架包括若干层相互平行设置的安置板， 安置板与推动板结构相同，说　明　书 1/3 页 3 CN 216694239 U 3