(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202111564196.3 (22)申请日 2021.12.20 (71)申请人 浙江爱旭太阳能科技有限公司 地址 322009 浙江省金华市义乌市苏溪镇 好派路655号 申请人 广东爱旭科技有限公司 　 天津爱旭太阳能科技有限公司 (72)发明人 晋亚铭　陈刚　 (74)专利代理 机构 广州三环 专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 曹万菊 (51)Int.Cl. H01L 31/18(2006.01) H01L 21/67(2006.01) G06F 30/20(2020.01)G06F 119/08(2020.01) G06F 119/12(2020.01) G06F 111/10(2020.01) G06F 111/04(2020.01) (54)发明名称 扩散方阻的智能调控方法、 系统、 设备及可 读存储介质 (57)摘要 本发明公开了一种扩散方阻的智能调控方 法， 包括： 根据预设的工艺参数运行太阳能电池 扩散工艺， 工艺参数包括扩散温度信息、 扩散时 间信息及气体流量信息； 检测经太阳能电池扩散 工艺扩散处理后的目标硅片的当前方阻信息； 判 断当前方阻信息是否在预设的方阻规格范围内； 判断为是时， 保持工艺参数， 并根据工艺参数继 续运行太阳能电池扩散工艺； 判断为否时， 根据 当前方阻信息、 预设的目标方阻信息及理论模拟 模型更新工艺参数， 并根据新的工艺参数运行太 阳能电池扩散工艺。 本发明还公开了一种扩散方 阻的智能调控系统、 一种计算机设备及一种计算 机可读存储介质。 采用本发明， 可实现工艺参数 的自动调节， 灵活性强， 准确性高。 权利要求书3页 说明书12页 附图7页 CN 114512571 A 2022.05.17 CN 114512571 A 1.一种扩散方阻的智能调控方法， 其特 征在于， 包括： 根据预设的工艺参数运行太阳能电池扩散工艺， 所述工艺参数包括扩散温度信息、 扩 散时间信息及气体流 量信息； 检测经所述太阳能电池 扩散工艺扩散处 理后的目标硅片的当前 方阻信息； 判断所述当前 方阻信息是否在预设的方阻规格范围内； 判断为是时， 保持所述工艺参数， 并根据所述工艺参数继续运行所述太阳能电池扩散 工艺； 判断为否时， 根据所述当前方阻信息、 预设的目标方阻信息及理论模拟模型更新所述 工艺参数， 并根据新的工艺 参数运行 所述太阳能电池 扩散工艺。 2.如权利要求1所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 所述根据当前方阻信 息、 预设的目标方阻信息及理论模拟模型更新工艺参数时， 更新所述工艺参数中的扩散温 度信息和/或扩散时间信息， 并保持所述工艺 参数中的气体流 量信息。 3.如权利要求1所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 所述理论模拟模型用于 表示当前方阻信息、 目标方阻信息、 当前扩散温度信息、 目标扩散温度信息、 当前扩散时间 信息及目标扩散时间信息 之间的关系， 其中， 所述目标方阻信息与目标扩散温度信息和/或 目标扩散时间信息呈负相关。 4.如权利要求3所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 所述负相关为开平方关 系。 5.如权利要求2 ‑4任一项所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 所述理论模拟 模型的约束条件为： 其中， R前为当前方阻信息， R后为目标方阻信息， Ea为杂质扩散激活能， K为气体摩尔常 数， T前为当前扩散温度信息， T后为目标扩散温度信息 。 6.如权利要求2 ‑4任一项所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 所述理论模拟 模型的约束条件为： 其中， R前为当前方阻信息， R后为目标方阻信息， t前为当前扩散时间信息， t后为目标 扩散时间信息 。 7.如权利要求2 ‑4任一项所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 所述理论模拟 模型的约束条件为： 其中， R前为当前方阻信息， R后为目标方阻信息， Ea为杂质扩散激活能， K为气体摩尔常 数， T前为当前扩散温度信息， T后为目标扩散温度信息， t前为当前扩散时间信息， t后为目 标扩散时间信息 。 8.如权利要求1所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 还包括： 根据所述工艺权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 114512571 A 2参数预测掺杂浓度， 所述 根据工艺 参数预测掺杂浓度的步骤 包括： 根据余误差函数计算经恒定表面源 扩散处理后的第一 掺杂浓度； 根据高斯函数计算无磷硅玻璃经有限表面源扩散处理后的第二掺杂浓度， 或根据 Smith函数计算有磷硅玻璃经有限表面源 扩散处理后的第二 掺杂浓度； 根据所述第一 掺杂浓度及第二 掺杂浓度预测掺杂浓度。 9.如权利要求8所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 还包括： 根据所述掺杂 浓度预测电阻率。 10.如权利要求1所述的扩散方阻的智能调控方法， 其特征在于， 还包括： 根据 所述工艺 参数预测结深参数， 所述 根据工艺 参数预测结深参数的步骤 包括： 根据公式 计算结深参数Xj， 其中， D0为扩散常数， Ea为 杂质扩散激活能， K为气体摩尔常数， T为扩散温度信息， t为扩散时间信息， A为恒定源扩散 参数或有限源 扩散参数。 11.一种扩散方阻的智能调控系统， 其特 征在于， 包括： 扩散模块， 用于根据预设的工艺参数运行太阳能电池扩散工艺， 所述工艺参数包括扩 散温度信息、 扩散时间信息及气体流 量信息； 检测模块， 用于检测经所述太阳能电池扩散工艺扩散处理后的目标硅片的当前方阻信 息； 处理模块， 用于判断所述当前方阻信 息是否在预设的方阻规格范围内， 当判断为否时， 根据所述当前 方阻信息、 预设的目标 方阻信息及理论模拟模型 更新所述工艺 参数。 12.如权利要求1 1所述的扩散方阻的智能调控系统， 其特 征在于， 所述处 理模块包括： 判断单元， 用于判断所述当前 方阻信息是否在预设的方阻规格范围内； 温度调节单元， 用于根据所述当前方阻信息、 预设的目标方阻信息及理论模拟模型更 新所述工艺 参数中的扩散温度信息； 时间调节单元， 用于根据所述当前方阻信息、 预设的目标方阻信息及理论模拟模型更 新所述工艺 参数中的扩散时间信息； 驱动单元， 用于当所述判断单元判断出所述当前方阻信 息不在预设的方阻规格范围内 时， 驱动所述温度调节单元和/或时间调节单元更新所述工艺参数中的扩散温度信息和/或 扩散时间信息 。 13.如权利要求12所述的扩散方阻的智能调控系统， 其特征在于， 所述处理模块还包括 存储单元， 所述存储单元用于记录理论模拟模型， 所述理论模拟模型用于表示当前方阻信 息、 目标方阻信息、 当前扩散温度信息、 目标扩散温度信息、 当前扩散时间信息及目标扩散 时间信息之间的关系， 其中， 所述目标方阻信息与目标扩散温度信息和/或目标扩散时间信 息呈负相关， 所述负相关为 开平方关系。 14.如权利要求1 1所述的扩散方阻的智能调控系统， 其特 征在于， 还 包括： 掺杂浓度预测模块， 用于根据所述工艺 参数预测掺杂浓度； 电阻率预测模块， 用于根据所述 掺杂浓度预测电阻率； 结深参数测模块， 用于根据所述工艺 参数预测结深参数。 15.一种计算机设备， 包括存储器和 处理器， 所述存储器存储有计算机程序， 其特征在 于， 所述处 理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至10中任一项所述的方法的步骤。权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 114512571 A 3