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UDC 621.383 : 621.317.3 L 15 中华人民共和国国家标准 GB/T15653--1995 金属氧化物半导体气敏元件测试方法 Measuring methods for gas sensors of metal-oxide semiconductor 国家标准全文公开系统专用,此文本仅供个人学习、研究之用 未经授权,禁止复制、发行、汇编、翻译或网络传播等,侵权必究。 全国标准信息公共服务平台:https://stdl.samr.gov.cn 1995-07-24发布 1996-04-01实施 国家技术监督局 发布 中华人民共和国国家标准 GB/T15653—1995 金属氧化物半导体气敏元件测试方法 Measuring methods for gas sensors of metal-oxide semiconductor 1主题内容与适用范围 本标准规定了金属氧化物半导体气敏元件(以下简称元件)性能参数测试方法的基本原理,没有规 定这些方法在实际使用时的技术细节,测试时可按相应的详细规范的规定进行。 本标准适用于金属氧化物半导体气敏元件性能参数的测试,其他气敏元件亦可参照使用。 2引用标准 GB2421 电工电子产品基本环境试验规则总则 GB3095大气环境质量标准 GB4475敏感元器件术语 3术语、符号 3.1术语 本标准中所用术语应按GB4475的规定。 3.2符号 本标准的参数符号应按本标准附录A(补充件)的规定。 4一般要求 4.1测试箱 测试箱的箱体材料应选择不与检测气体反应的材料; b. 箱体容积应保证其中每只元件平均占有容积不小于1L; c. 箱内应设有液体汽化装置、温湿度显示装置和气体搅拌装置。 4.2测试气氛 清洁空气的要求应符合GB3095中规定的2级环境空气标准。 采用标定气体检测时,其浓度容许误差应符合表1的规定。 国家技术监督局1995-07-24批准 1996-04-01实施 1 GB/T15653—1995 表1 体积比浓度范围 容许误差 X10-6 % ≤10-6 ±50 <100 ±20 100~1000 ±10 >1 000 ±5 4.3电源 稳压电源(或稳流电源)电压(或电流)在给定值范围内误差应不大于士2%。 4.4测试仪表 指示用电压表、电流表(包括量程扩展)的误差应不大于土1%。 测量负载电阻上的输出电压应选用高输入阻抗的数字电压表。 4.5测试环境条件 a测试的标准大气条件 温度:15~35℃; 相对湿度:45%~75%; 气压:86~106kPa。 b. 仲裁测试的标准大气条件 温度:25±1℃; 相对湿度:48%~52%; 气压:86~106kPa。 4.6测试环境条件容许误差 a. 环境温度:在测试过程中,环境温度变化不应超过士2℃; b. 相对湿度:在测试过程中,相对湿度变化不应超过士5%; c. 气压:在测试过程中,大气压力变化不应超过士5%。 4.7 一般注意事项 a. 各项参数测量,都应在规定的工作条件下进行; b. 连续测试一定数量的元件,必须规定测试时间要求; c. 测试前都应规定元件保持在测试条件下的时间长短; d. 如果把元件从加功率到进行测试之间的时间加倍所测得的读数在规定的误差内变化,则认为 元件达到初始稳态; SAC e. 把元件置于某一工作状态到进行测试之间的时间加倍所测得的读数在规定的误差内变化,则 认为元件达到稳态。 5参数测试 5.1清洁空气中元件电阻值(R。) 5.1.1定义 在规定工作条件下,元件在清洁空气中的稳态电阻值。 5.1.2测试电路图 2
GB-T 15653-1995 金属氧化物半导体气敏元件测试方法
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